第(2/3)页 只见监视器的屏幕上,此时闪耀着报警信号,提示光刻曝光的坐标数据、深度数据、激光能量数据都有问题。 看到这种情况,负责操作的技术员已经按下急停控制按钮。 “嘟……” “嘟……” “嘟……” 在警报声中,光刻系统的各个子系统开始缓慢的停下来。 看到这一幕,众人的脸色都不好看。 “一千八百万没了!特么的,老米的激光光路系统也不靠谱!” 万宁古阴沉脸,目光中满是怒火。 在他看来,这台光刻机让他最放心的子系统应该是老米的激光光路系统。而从现在表现的故障来看,却正好是激光光路系统出了毛病。 万宁古怎么能不生气? 其他的工作人员也是一样,满脸的懊恼之色。 大部分的技术员都用眼角的余光偷偷看向许振鸣,想要了解一下老板的心里动向。一次实验花掉将近两千万,哪个老板也不会有好脸色的。 在偷偷打探老板心思的同时,众人几乎都保持沉默,谁也不敢乱发表观点。 这时,胡明镇的学生梁宋松皱了皱眉头,提出不同意见,“万总,我认为出现这种情况的原因比较复杂,不一定是激光光路系统出了毛病。” “嗯?”万宁古收回凝重的目光,看向梁宋松。 众人当中,梁宋松的芯片Foundry制程经验很丰富,说出的观点很有道理。 看了几眼梁宋松,他才挪开目光,跟许振鸣的目光一碰,“许董,我…我们大概需要三四天的时间才能找出原因。” “没关系。”许振鸣露出一丝笑容,脸上的表情很轻松,好像并没把此次试验的失败放在心上。 第(2/3)页