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    郝宁教授此次此刻非常激动，连连点头，“一定是这个问题。还是许董的眼光比较准，一下就能找到这台光刻机的缺陷所在。”一边说话，他一边拿出笔记本，把今天的灵感记录下来。

    做好这些，他朝众人大笑着说：“我们大家都知道共振的原理。这台光刻机主体系统的震动波若是跟激光光路系统的震动波频率一致，就会产生共振现象。倘若这台光刻机主体系统的电磁杂波频率跟激光的频率一致……”

    “激光也会产生共振现象！”这时，在场的所有人都异口同声的说道。

    在场的众人都技术员，普通物理知识还是知道一些的。他们这些人，也包括许振鸣都瞬间听懂了郝宁教授的理论。

    “既然这样，咱们还愣着干啥，开始干活吧！”许振鸣现在的心情很不错，笑嘻嘻的朝大伙儿扫了一眼。

    “哈哈…原来是波的问题！”

    “就是不知道是哪套系统的波有问题？还是电磁杂波有问题？”

    技术员们开着玩笑，开始拆卸接在主体系统上的传感器。

    他们准备把这套传感器接到激光光路系统上面，测试一下这套激光光路系统的电磁杂波频率和震动频率等。至于那激光头里射出的激光光束频率，工作站的电脑里早就有了数据。

    ………

    ………

    就这样，一个小时以后，两套系统的测试数据已经被打印出来。

    “许董，原来是震动波的问题。咱们的光刻机主体系统和激光光路系统的震动波频率非常接近，肯会产生共振现象。”万宁古扬了扬手中的A4打印纸，脸上露出开心笑。

    这一番折腾下来，他都操碎了心。现在能准确定位这台光刻机故障缺陷的原因，他怎么能不喜出望外？

    许振鸣也是如此。通过这一番的科普，他对第三代KrF光刻机的原理也算比较精通了。虽然不能像万宁古、梁宋宋、郝宁这些专家那样精通，要是去忽悠外行人，保准没问题。
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