第(1/3)页 看了看激动不已的专家教授们,胡明镇却非常冷静。荣誉对于他来说已经不算什么,关键是要把国产第一台光刻机给调试好才最重要。 这台光刻机的两套分系统都已经通过验证,确保没问题。但把这两套系统重新组装起来,并且再次做联动调试,这还是第一次。并且在一帮院士级专家的眼皮子低下操作,胡明镇不得不慎重。 “液压组汇报情况!”他眉头一扬,朝自己的一位弟子看过去。 “液压组没问题,液压站数据一切正常!” “压缩空气组没问题,风机已经启动,空气包的压力很稳定!” “照明组一切正常!” “起重组已经做好准备工作!” “……” 随着胡明镇的这一声令下,各小组负责人都立即逐个的汇报数据,和设备运行状态。 一番检测下来,这台光刻机的所有分系统都已经做好准备,具备马上对接安装的良好状态。 “开始对接!”胡明镇竖起两个大拇指,按照设备对接组装流程下达开始对接的指令。 嘟…嘟…嘟…… 吊装指挥长吹起了口哨,开始指挥叉车工起重,横移。 看到这一幕,刘教授、董教授、单教授等人都不由得屏住呼吸,心情紧张的见证华国第一台KrF光刻机的对接接驳仪式。 随着“啪”的一声响,激光光路系统和光刻机主体系统正式对接好。见胡明镇的团队没有做任何的对位精调就锁定了激光光路系统,刘教授等人都非常吃惊。 “这…这能对准吗?” “激光光路系统的重量特别大,接驳箱的体积和接触面又这么小,液压锁定时怎么能调节好轴向、水平向、垂直向的误差?” “我看不明白!” 刘教授等人狐疑的看向胡明镇,表情比桂长树那一组的专家们还要骇然。 他们这帮人都院士级教授,理论水平非常高,即便横跨一个专业还是能说出一二三的。正是因为内行,他们这才更震惊。 第(1/3)页