第(2/3)页 他们这个打算很精明,通过这番操作,华夏科学院立即就能获得两个高档的实验室,实验室的装备水平在全球都算是一流的。 胡明镇听到这番话,心里在犹豫。 “这么重大的投资,我也无权决策啊。不过。各位专家,我们许董一向喜欢在新技术方面投入巨资,咱们合作办学的这个电子大学。我想他应该会批准的。”他只能含糊其辞的说着客套话,并没有拒绝董教授等人的提议。 “只要许董愿意投资,我们这联合办学的大学就由许董来命名。” “对,我建议让许董亲自任校长!” 董教授、刘教授等人笑呵呵的跟着补刀,想把这个决策给坐实了。 就在这时,负责光刻机整机联动调试的郝宁教授,朝胡明镇招了招手,“胡总,我们刚才已经模拟运行过一次,这台光刻机的各项参数、性能指标等都正常。咱们是不是该进行下一步的芯片流片工程测试?” 按照光刻机本来的调试流程,一定要通过三次模拟实验以后才能开始进行流片测试。但为了赶时间,郝宁教授才会这么询问胡明镇。 胡明镇闻言,稍稍犹豫了片刻。他性格谨慎,从来都不喜欢冒险。但是为了政治任务,只好微微点头,“老郝,我同意执行流片测试程序。” “好!” 郝宁教授朝负责流片的技术员们一挥手,“立即执行流片工程测试程序!” 随着他这一声令下,光刻室里的技术员们顿时都忙碌起来,做流片工序的准备工作。 芯片流片非常讲究,仅仅光刻室里就由许多道制程工艺组成。 比如说,蚀刻掩膜片、给掩膜片涂抹光刻胶、清洁激光头、激光头校准对焦……等等等等。 这些工序的精度要求都非常高,而且要在无尘状态操作,不得马虎。 不但如此,光刻室的灯光照明、声波、震动波、电磁波、温度、湿度等技术参数都有严格的规定,否则都会影响光刻硅晶圆片的精度,影响流片的成品率。 “老胡,这台设备我们已经测试过很多次,也通过好几次实战,应该没问题。”郝宁教授见胡明镇的目光一直都盯着光刻机工作站的电脑显示屏,所以才特意走来宽慰几句。 第(2/3)页