第七百六十八章 腰杆子直起来【求订阅】-《大国智能制造》


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    说完这些,他一跃而起,从电脑转椅上跳了起来。

    虽然说光刻流程工艺仅仅是芯片流片制程工艺的第一步,后续的工序仍然会降低芯片成品率,但百之一百的成功率还是值得庆贺的。

    “百分一百的成品率?这么厉害?”刘教授听到这个数据,顿时有点瞠目结舌了。

    其他的专家教授们也是如此,顿时都跑到那台工作站的显示屏旁边,想要一睹为快。

    此时此刻,电脑屏幕上显示的一组组图形比对数据,并没有什么芯片物理图形,不是很直观。但那些一组组的比对数据却可以明确的指出,第一片硅晶圆片的曝光光刻成功率。

    “各位专家,我们这台光刻机采用扫描式曝光制程工艺,其原理和复印机的扫描流程很像。当激光头从掩膜片的上方扫过,激光就把掩膜片上的物理电路图曝光到硅晶圆片的光刻胶涂层,留下电路图的影像……”90看 

    梁宋松指着电脑屏幕,把电脑屏幕上模拟的光刻流程、硅晶圆片比对流程等制程工艺流程,一一跟这些专家们介绍一番。

    这些专家们理论知识比较丰富,第三代光刻机的光刻制程工艺却比较陌生。

    特别是胡明镇发明的FinFET制程工艺,他们只是在专业杂志上看过技术论文报道,根本没亲眼见识过。今天能有这次机会亲眼看到KrF光刻机实施光刻、验片等工艺流程,总算是开了眼界。

    “这套系统的技术确实强,已经超过我所意料之外。”

    “真没想到,我们华国也能制造出这种尖端精密设备!”

    “胡教授,你们给我们国家争光了。”

    刘教授、董教授、单教授等人啧啧称赞,脸上浮现出崇敬不已的表情。

    不服气不行啊,事实就摆在眼前。
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