第(2/3)页 “额?激光光源有点不稳定?” “肯定是光源问题!” 听到这话,已经拍好队伍的胡明镇和章钕京,几乎同时说出一致的原因判断。 而这些数据对于刘教授等人来说,已经是非常高的合格数据。在他们看来,即便是从米国或者岛国进口的光刻机,也不能做到这么高的成品率。 更何况,刘教授等人所能接触到的光刻机,都是国外淘汰的二手光刻机,而且都是一代、二代接触式光刻机。 见识不够,眼界不同,看到的结果就相差非常大。 “老胡、老章,刚才汇报的数据很不错,你们两面对镜头笑一个!”刘教授侧过脸,招呼胡明镇和章钕京。 胡明镇瞥了瞥嘴唇,朝章钕京苦笑一下,“先拍照吧。等一下你再做实验,把问题的原因找出来。” “只能这么办喽!”章钕京会意的点头。 随着一阵咔嚓咔嚓的声响,胡明镇和章钕京两人的苦笑被定格在这次合影留念的照片上。 刚刚完成合影留念仪式,章钕京就朝手下的技术员大吼一声,“小李,你立即启动紧急风冷装置,给激光光路系统降降温。” 听到这话,郝宁教授一皱眉,“老章,你的意思是激光发生器的温度过高,激光粒子出现不稳定的情况?” 章钕京没说话,微微点头,皱着眉头朝光刻机的工作站走去。 胡明镇的表情跟他一样,此时也很严肃。 他们这帮人表现的如此严肃,这让刘教授等人感到很诧异,“现在的数据非常好啊,老胡他们为甚不开心?” 揣着这种狐疑,刘教授、单教授和董教授等一帮院士级的专家们都收敛笑容,跟在胡明镇等人的身后一起去观看电脑显示屏上的数据。 此时此刻,这台光刻机已经完成了第五片硅晶圆片的光刻工序,激光头正在挪动,朝另外一个工作台横移而去。 第(2/3)页